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適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析
這是配備光譜儀的標準型號,非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計??梢赃M行非接觸式測量,因此您不必注意涂層工作表面。
它涵蓋了廣泛的測量波長和可測量的薄膜厚度。
可測量波長:380nm~1050nm
可測量膜厚:100nm~60μm
反射分光膜厚計AFW-100W
當光線照射在透明薄膜上時,在薄膜表面反射的光(R1)與在薄膜內部折射并在基材表面反射的光(R2)重疊,導致光線增強或減弱。
這種現(xiàn)象稱為“光干涉" 。當光的相位匹配時,強度增加,而當相位偏移時,強度減小。
右圖是“光干涉"的圖像。 “反射分光膜厚計"是通過分析該光的干涉(波長)來測量膜厚的方法。
求使測量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。
推薦在波紋數(shù)為3個以下時使用(膜厚約1μm)。
通過FFT計算確定某一波長寬度內表示膜厚的干涉波形的數(shù)量,并由此導出一個周期的波長寬度。
建議在有3個或更多波紋時使用(膜厚約1μm)。
模型 | AFW-100W |
目的 | 一般膜厚用 |
設備配置 | 單元主體、測量臺、分支光纖(1.5m)、PC、膜厚測量樣品 |
測量波長范圍 | 380nm~1050nm |
膜厚測量范圍 | 100nm至1μm(曲線擬合法) |
1μm~60μm(FFT法) | |
測量重復性 | 0.2%至1%(取決于膜質量) |
測量光斑直徑 | 約7毫米 |
光源 | 12V-50W 鹵素燈 |
測量理論 | 曲線擬合法/FFT法 |
外形尺寸(毫米) | 機身:W230 x D230 x H135 |
測量臺:W150 x D150 x H115 | |
大約重量 | 5.5kg *不包括電腦 |
公用事業(yè) | 交流100V 50/60Hz |
消耗品 | 鹵素燈 |