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產(chǎn)品型號(hào): SC-708系列
所屬分類:涂布機(jī)
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-09
簡(jiǎn)要描述:日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-708系列離子濺射設(shè)備,用于大型基材的全涂層濺射靶材的尺寸為1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。在形成微通道流動(dòng)路徑以及濺射薄膜制造時(shí)支持PDMS表面處理
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-708系列
特征
應(yīng)用/結(jié)果示例
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-708系列
基本規(guī)格
陰極 | φ4-8英寸/ 2極電極 |
濺射電流 蝕刻電流 | 0-50mA(包括電流表) |
濺射電壓 蝕刻電壓 | 0.8 / 1.4kV |
氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥 |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:100l / min(有自動(dòng)泄漏) |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ240mmx D240mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
樣本量 | 大φ4?8英寸 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:282/450 / 440mm RP:460/175 / 265mm |
重量 | 身體:約20kg RP:23kg |